用SEM测超薄薄膜厚度，如何制样才能保证导电性足够好？

想准确测定厚度还是很麻烦的，关键就在于制样，关于镀层或者薄膜厚度的测定有相关标准的，标准名称我不太记得了，改天给你发过来也行（如果需要），大概意思是说在要测的镀层外面再镀一层镍，然后把材料固化在树脂中，再做截面，或者抛光，然后再测定，关键是不要破坏镀层.关于SiO2不导电的问题，喷金或者喷碳就可以解决.

对了，还有一种是针对液体样品的，快速冷冻法，简单说就是液体样品放在液氮中快速冷冻，通过特殊的装置，转移到过渡舱中，再喷金，再转入观察仓。以上三种制备方法基本就全了。这个还需要你多多练习，基本方法就是这些。

---