通过测SEM怎么知道材料中各元素的含量，准确不？

扫描电镜能谱分析通过激发原子发射特征X射线来确定成份，只能测试材料表面，根据电压不同测试的厚度不同，且轻元素是测试不了的，不记得是Be还是B之前的元素了，反之从C开始都能测试到，准确性很差。

这里面有几个问题：1、钢的整体的碳成分是多少并不表示任何一点的碳成分均是这个数字，钢里有贫碳相如铁素体，也有富碳相如渗碳体，打在不同的部位得数也不一样；2、碳是轻元素，成分测量的误差本来就较大；3、eds本身的精度不高，只做定性分析之用，不做定量之用。

sem用于分析显微成分的附件有几种

Q :用SEM中的EDS做元素面扫描，其反映的是多少深度的信息？RE:分析深度取决于样品本性和选用的参数，不同的加速电压，穿透深度不一样，电压越高，X射线激发深度越深 ,通常5KV一个单位入射深度2-3个mirc. 电压强度越高入射深度越强. 轻元素比较深，重元素相对较浅。具体书上有公式计算。和加速电压，元素的吸收系数等有关系。一般在几微米左右，重元素可能在几百纳米。

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