sem光阑对中什么意思

限制透镜或光学系统装置光孔的(如带孔的板)。光阑光圈快门。在做扫描电子显微镜（SEM）测试时，科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到，好多同学对SEM测试不太了解，针对此，科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理。从电子枪阴极发出的电子束，经聚光镜及物镜会聚成极细的电子束（0.00025微米-25微米），在扫描线圈的作用下，电子束在样品表面作扫描，激发出二次电子和背散射电子等信号，被二次电子检测器或背散射电子检测器接收处理后在显象管上形成衬度图象。二次电子像和背反射电子反映样品表面微观形貌特征。而利用特征X射线则可以分析样品微区化学成分。

主要有三种光阑：

（1）聚光镜光阑。在双聚光镜系统中，该光阑安装在第二聚光镜的下方。作用：限制照明孔径角。

（2）物镜光阑。安装在物镜后焦面。作用：提高像衬度；减小孔径角，从而减小像差；进行暗场成像。

（3）选区光阑。安装在物镜的像平面位置。作用：对样品进行微区衍射分析。

在光学显微镜下无法看清小于0.2µm的细微结构，这些结构称为亚显微结构或超微结构。要想看清这些结构，就必须选择波长更短的光源，以提高显微镜的分辨率。1932年Ruska发明了以电子束为光源的透射电子显微镜，电子束的波长要比可见光和紫外光短得多，并且电子束的波长与发射电子束的电压平方根成反比，也就是说电压越高波长越短。目前TEM的分辨力可达0.2nm。

透射式电子显微镜(TEM)与投射式光学显微镜的原理很相近，图4-12所绘为两者的简化光路图，从图中可以看出，它们的光源、透镜虽不相同，但照放大和成像的方式却完全一致。

在实际情况下无论是光镜还是电镜，其内部结构都要比图示复杂得多，图中的聚光镜(condonser lens)、物镜(object lens)和投影镜(projection lens)为光路中的主要透镜，实际制作中它们往往各是一组(多块透镜构成)，在设计电镜时为达到所需的放大率、减少畸变和降低像差，又常在投影镜之上增加一至两级中间镜(intemediate lens)。透射式电子显微镜的总体结构包括镜体和辅助系统两大部分，镜体部分包含:①照明系统(电子枪G，聚光镜C1、C2)，②成像系统(样品室，物镜O，中间镜I1、I2，投影 镜P1、P2)，③观察记录系统(观察室、照相室)，④调校系统(消像散器、束取向调 整器、光阑)。辅助系统包含:①真空系统(机械泵、扩散泵、真空阀、真空规)，②电路系统(电源变换、调整控制)，③水冷系统。图4-13(a)为典型透射电镜的电子光学系统 构成及成像原理示意图，其中只包含了电镜镜体内的照明系统和成像系统两部分图4-13(b)为透射电镜的镜体外形结构对照示意图。

透射电镜的总体工作原理是:由电子枪发射出来的电子束，在真空通道中沿着镜体光轴穿越聚光镜，通过聚光镜将之会聚成一束尖细、明亮而又均匀的光斑，照射在样品室内的样品上透过样品后的电子束携带有样品内部的结构信息，样品内致密处透过的电子量少，稀疏处透过的电子量多经过物镜的会聚调焦和初级放大后，电子束进入下级的中间透镜和第1、第2投影镜进行综合放大成像，最终被放大了的电子影像投射在观察室内的荧光屏板上荧光屏将电子影像转化为可见光影像以供使用者观察。本节将分别对各系统中的主要结构和原理予以介绍。

---