sem扫描电镜测量需要多长时间

sem扫描电镜测量需要多长时间,第1张

测量时间样品类型和测试要求而不同。

电镜测量过程包括:制样→放样→确认位置→拍照、测试等。

1、对于简单样品,可能不需要特别制样,直接取样放样(要抽真空)就可以,该过程可能需要几分钟到十几分钟;对于负责样品,可能需要断开、抛光腐蚀或者其他处理,时间就不能确定了,有的可能要半天,抽真空放样可能半个小时;

2、如果单纯拍几张照片,没有特别要求,几分钟就可以确认位置和拍完照片,如果在样品上找某些特定的特征拍照时间就可能长很多(这也与拍照人的操作熟练程度有关),如果还要测能谱或者其他的内容,时间可能会更延长。

如果楼主不能判断自己样品符合以上哪些内容,不能确认时间,可以详细说下你的样品和测试内容,才能准确知道测试时间

扩散泵温度过低。

开机时,初级泵(油泵)抽到一定真空度后扩散泵启动。这时候电热丝会加热扩散泵底部使泵油沸腾。一般这个过程很短,即使提示“温度过低,稍等一会儿”,也就稍等一会儿吧。

如果等很久,扩散泵都不工作,可以看看泵底部是不是热了(注意:高温,不要用手摸)。

如果不热,可能是电热部分损坏了;

如果是高温的,可能是测温元件坏了,或者软件有问题。

扩散泵一般在镜筒正下方,气浮平台里面。

1、高真空环境是分子流,湿的样品不断释放水蒸气,使高真空情况下,真空度很难上升,往往达不到比较优越的条件。

2、水蒸气和2000多度高温的钨丝反应,会加速电子枪灯丝挥发,极大降低灯丝寿命。

3、对电子束的散射,会造成信号损失

4、污染样品


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