SEM和TEM的区别在哪里

SEM，全称为扫描电子显微镜，又称扫描电镜，英文名Scanning Electronic Microscopy. TEM，全称为透射电子显微镜，又称透射电镜，英文名Transmission Electron Microscope.

区别：

SEM的样品中被激发出来的二次电子和背散射电子被收集而成像. TEM可以表征样品的质厚衬度，也可以表征样品的内部晶格结构。TEM的分辨率比SEM要高一些。

SEM样品要求不算严苛，而TEM样品观察的部分必须减薄到100nm厚度以下，一般做成直径3mm的片，然后去做离子减薄，或双喷（或者有厚度为20~40μm或者更少的薄区要求）。

TEM可以标定晶格常数，从而确定物相结构；SEM主要可以标定某一处的元素含量，但无法准确测定结构。

1 像平面上的电子像是原晶体(三维)在入射方向平面的(二维)投影,也就是将三维信息转换成二维图像.提高电子发射电压,提高透镜的焦距均可以扩大对比度(衬度)

2电子衍射图谱反映的是电子和晶体场经过衍射作用后的图像,它反映的是晶体结构以及电荷分布.非晶样品无衍射图谱,多晶样品在同一衍射点上有多个衍射图像,单晶样品衍射图谱同一衍射点上有唯一衍射图像,并且图像长程有序.

3如上所述,电子成像得到的是三维样品的二维投射影像,而电子衍射谱得到的是材料的晶体结构以及电荷分布结构.

下图是我上课时的讲义,绿色的就是衍射图,黑白图片是电子像.