用SEM测超薄薄膜厚度,如何制样才能保证导电性足够好?

用SEM测超薄薄膜厚度,如何制样才能保证导电性足够好?,第1张

想准确测定厚度还是很麻烦的,关键就在于制样,关于镀层或者薄膜厚度的测定有相关标准的,标准名称我不太记得了,改天给你发过来也行(如果需要),大概意思是说在要测的镀层外面再镀一层镍,然后把材料固化在树脂中,再做截面,或者抛光,然后再测定,关键是不要破坏镀层.关于SiO2不导电的问题,喷金或者喷碳就可以解决.

对了,还有一种是针对液体样品的,快速冷冻法,简单说就是液体样品放在液氮中快速冷冻,通过特殊的装置,转移到过渡舱中,再喷金,再转入观察仓。以上三种制备方法基本就全了。这个还需要你多多练习,基本方法就是这些。


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