(1)聚光镜光阑。在双聚光镜系统中,该光阑安装在第二聚光镜的下方。作用:限制照明孔径角。
(2)物镜光阑。安装在物镜后焦面。作用:提高像衬度;减小孔径角,从而减小像差;进行暗场成像。
(3)选区光阑。安装在物镜的像平面位置。作用:对样品进行微区衍射分析。
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(1)聚光镜光阑。在双聚光镜系统中,该光阑安装在第二聚光镜的下方。作用:限制照明孔径角。
(2)物镜光阑。安装在物镜后焦面。作用:提高像衬度;减小孔径角,从而减小像差;进行暗场成像。
(3)选区光阑。安装在物镜的像平面位置。作用:对样品进行微区衍射分析。
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