样品室中有样品台和信号探测器样品台还能使样品做平移、倾斜、转动等运动。
试样在样品室中可动的范围非常大,可以在三度空间内有6个自由度运动(即三度空间平移、三度空间旋转)。由于样品可在SEM样品室的三维空间中作平移和旋转运动,所以可从各种角度直接观察样品的表面结构和形貌。
电镜的原理是:电子枪发出电子束打到样品表面,激发出二次电子、背散射电子、X-ray等特征信号,经收集转化为数字信号,得到相应的形貌或成分信息。测试注意事项:
1、新人找别人帮忙测试时,
明确自己的测试内容,如何样品前处理,测试时间,然后跟测试相关人员联系确定能否满足你的测试需求
2、新人自己操作测试时,
明确自己的测试内容,如何样品前处理,测试时间,
测试时注意样品干燥洁净,操作时样品和样品台避免撞到探头
不是。SEM对样品的要求。
1、不会被电子束分解。
2、在电子束扫描下热稳定性要好。
3、能提供导电和导热通道。
4、大小与厚度要适于样品台的安装。
5、观察面应该清洁,无污染物。
6、进行微区成分分析的表面应平整。
7、磁性试样要预先去磁,以免观察时电子束受到磁场的影响。
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