ITO导电膜是指采用磁控溅射的方法(ITO 薄膜的制备方法有蒸发、溅射、反应离子镀、化学气相沉积、热解喷涂等, 但使用最多的是反应磁控溅射法),在透明有机薄膜材料上溅射透明氧化铟锡(ITO)导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。ITO膜层的厚度不同,膜的导电性能和透光性能也不同。一般来说,在相同的工艺条件和性能相同的PET基底材料的情况下,ITO膜层越厚,PET-ITO膜的表面电阻越小,光透过率也相应的越小。ITO薄膜具有良好的导电性和可见光区较高的光透过率。
【ito膜在led中的作用】为了提高led芯片的出光效率,人们想了许多办法。比如,当前市场上出现了许多亮度较高的ito芯片的led,gan基白光led中如果用ito替代ni/au作为p型电极芯片的亮度要比采用通用电极的芯片高20%-30%。在众多可作为透明电极的材料中,ito是被最广泛应用的一种,ito薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电膜,通常有两个性能指针:电阻率和透光率。主要是由于ito可同时具有低电阻率及高光穿透率的特性,符合了导电性及透光性良好的要求。在氧化物导电膜中,以掺sn的in2o3(ito)膜的透过率最高和导电性能最好,而且容易在酸液中蚀刻出细微的图形。【ito薄膜】是一种n型半导体材料,具有高的导电率、高的可见光透过率、高的机械硬度和良好的化学稳定性。
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对涂层厚度的检测将有利于有效控制薄膜各层的厚度均匀性,但对于多层薄膜若想精确测量每一涂层的厚度,在相应的厚度检测设备上就需要有非常大的投资,并随着薄膜层数的增长而加大,给企业带来较大的经济负担。比较经济的方式是对部分价格昂贵的涂层材料进行涂层厚度的检测,同时加强对薄膜整体厚度的测试以达到有效控制其他各层材料厚度均匀性的作用。对于薄膜厚度测量,深圳大成精密一直持续加大研发投入和不断致力于技术创新。大成精密光学干涉测厚仪专为透明薄膜开发的光学干涉测厚仪能够良好地实现单层或多层透明薄膜的厚度测量。精度极其高,应用甚广,尤其适合厚度要求达到纳米级的透明多层物体的厚度测量。
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