超高分辨率场发射扫描电镜——蔡司扫描电镜具有出色的分辨率,在较低的加速电压下仍可呈现给您更强的信号和更丰富的细节信息,其创新设计的NanoVP可变压力模式,甚至让您在使用时拥有在高真空模式下工作的感觉
分辨率: 0.6nm @15 kV;1.1nm @1kV;0.9nm@1kV(带串联decel选项);1.2nm@0.5kV
放大倍数:20-2,000,000×
加速电压:调整范围:0.02-30 kV(无需减速模式实现)
探针电流: 3pA-20nA(100nA可选)
低真空范围: 10-500Pa (GeminiSEM300 VP可用)
样品室: 330 mm(φ),270 mm(h)
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