如何解决SEM图像的漂移问题

我自己碰到的图像漂移有：

1。样品固定不牢固，或者样品太。因此样品大小要合适，并用导电胶固定牢固。

2。刚放入样品，开始观察时图像漂移较大，可等半小时左右在开始，图像漂移消除或减弱。

3。样品导电性差，荷电现象导致图像漂移不清楚，可降低电压或者样品表面喷金（碳）处理。

4。扫描电镜对中不好导致聚焦过程中图像移动。

5。高倍观察时，环境振动也会导致图像漂移或者浮动。

因为有些扫描机器在EDX模式下，不会支持单独的图像采集，但是你在打完能谱以后，能谱会自动将你打能谱的图片，和你的能谱数据保存在一起，所以你也不需要单独采集这个图像。

另外，不知道你是企业还是科研论文用的。我们一般的做法是在SEM图像的模式下采集图片A，因为这个模式下图像最清晰，然后就选取这个图片的位置不动，调整工作距离和工作电压来进行EDX的采集，由于电压和距离的调整，此时图片B的质量很差，但是工作参数很适合打EDX，这是收集EDX数据，然后你在论文或者结果展示的时候用你在图像模式下采集的图像A来作为图像，然后一起附上EDX的数据，这样处理时最佳的

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