如何获得清晰的扫描电镜（SEM）图像

1、制样：成功制备出所要观察的位置，样品如果不导电，可能需要镀金

2、环境：电镜处在无振动干扰和无磁场干扰的环境下

3、设备：电镜电子枪仍在合理的使用时间内

4、拍摄：找到拍摄位置，选择合适距离，选择合适探头→对中→调像散→聚焦，反复操作至最清晰

因为有些扫描机器在EDX模式下，不会支持单独的图像采集，但是你在打完能谱以后，能谱会自动将你打能谱的图片，和你的能谱数据保存在一起，所以你也不需要单独采集这个图像。

另外，不知道你是企业还是科研论文用的。我们一般的做法是在SEM图像的模式下采集图片A，因为这个模式下图像最清晰，然后就选取这个图片的位置不动，调整工作距离和工作电压来进行EDX的采集，由于电压和距离的调整，此时图片B的质量很差，但是工作参数很适合打EDX，这是收集EDX数据，然后你在论文或者结果展示的时候用你在图像模式下采集的图像A来作为图像，然后一起附上EDX的数据，这样处理时最佳的

可以有3个方法：

1，制样的时候将样品倾斜放置。

2，用倾斜样品台制样，有些SEM样品台配有30，45,60度倾斜的样品台。

3，高级的SEM，可以讲探头本身倾斜，从而获得大角度的SEM图

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