ocd光学线宽测量和cd-sem的区别

SEM作为显微镜，可以放大微观物体形态，一般允许误差在放大倍数±5%。在相同工作条件下，放大倍数一般不会漂移，精度可靠。但随着温湿度变化，随着电磁环境变化，可能会有漂移。因为SEM放大和光学显微镜放大完全不同，完全靠扫描线圈和电器元件控制，电器元件的老化，可能会引起放大倍数漂移，因此过两年需要校准放大倍数。另外SEM图像尺寸测量精度问题，这个情况和方舟子质疑韩2身高有些类似，许多人用图像测量得出的结果误差很大。但相同的测量方法精度很高！还有SEM作为材料分析平台，做化学成分分析，晶体结构分析。偏差可以保证2%以内。最后总结：精度靠方法和条件保证！前提是方法一致，条件不要变化！！

对于快速地检测电子束曝光制造出的小纳米结构的尺寸和缺陷并保证其不受到损伤是纳米加工进入10nm尺度面临的另一重大技术问题。同时,在集成电路制造中,多层制造需要对标记进行极高精度的检测"显然,光学的无损伤检测方式己无法应用于10nm尺度范围,因此基于能量束的检测方法是必须采取的方式"。

目前工业界采用CD一SEM对小特征尺寸进行测量。

光栅和棱镜一样，是重要的分光光学元件，已广泛应用在单色仪、摄谱仪等光学仪器中。实际上，光栅就是一组数目极多的等宽、等距和平行排列的狭缝。应用透射光工作的称为透射光栅，应用反射光工作的称为反射光栅。

图（1）

如图（1）所示：

激光源垂直射入光栅平面，光栅是在一个基板玻璃片上刻上一组等间距的平行刻痕而成；当入射到刻痕处的光由于散射不易透过，光只能从刻痕间的透明部分（也称狭缝）通过。光栅可以看作一系列密集而又均匀排列的平行狭缝。则相邻狭缝对应点之间的距离（光栅常数）

根据夫琅和费衍射理论知，亮条纹所对应的衍射角（即衍射光与光栅平面法线之间的夹角）应满足下列条件：

（1）

该式称为光栅方程。式中d=a+b（其中a为缝宽，b为相邻狭缝之间不透明部分的宽度）为相邻狭缝之间的距离，称为光栅常数，为光波波长，K为光谱线的级次。因为衍射亮条纹实际上是光源狭缝的衍射象，所以又称为光谱线，当k=0时衍射角=0时，各色光重叠在一起从而得到中央级亮条纹，称为零级谱线。当k = ±1， ±2 …时，将得到对称分立在零级条纹两侧的一级，二级 … 明纹。

由图（1）中可以看出 ，x表示谱线到0级谱线的距离，y表示光栅到0级谱线的垂直距离。

当k=1时：

（2）

由（1），（2）式可得：

（3）

则1m内刻有1/d刻痕，所以该CD-R光盘的轨道密度为：

（4）

从而 （5）

只要测量出x和y的值，根据式（5）便可以得出CD-R光盘的轨道密度。

已知激光的波长：

而x的值为一级正负明纹的的距离的的一半（如图所示），即：

图（2）表示各点的位置及要测量的距离

（6）

Y的值为中央明纹到光栅的距离可直接测量出来。

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