请问场发射扫描电子显微镜与普通扫描电镜相比有哪些区别

请问场发射扫描电子显微镜与普通扫描电镜相比有哪些区别,第1张

当分辨率在纳米和原子范围时,扫描电镜(sem)和原子力电镜(afm)是我们今天可以获得的最有效的两种显微技术,各有优劣。它们最根本的区别在于它们操作的环境不同。sem需要在真空环境中进行,而afm是在空气中或液体环境中操作。因此如果是要测定液体中细微颗粒的形态,afm更为适合一些。通常afm扫描含水的试样是把它和扫描探针放在液体中进行的,因为afm不是以导电性为基础,所以图像和扫描模件在液体中都不会受干扰。

扫描电镜(SEM)是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。扫描电镜的优点是,①有较高的放大倍数,20-20万倍之间连续可调;②有很大的景深,视野大,成像富有立体感,可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构;③试样制备简单。 目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置,这样可以同时进行显微组织性貌的观察和微区成分分析,因此它是当今十分有用的科学研究仪器。


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