这是因为SEM长时间工作,电子枪上沉积的不少污染电荷,需要flash步骤来回复电子枪的正常工作状态。连续做样的情况下normalflash一般最长8个小时左右需要做一次。
SU9000是冷场发射电子枪,即电子枪阴极温度在300K的常温下发射电子, 冷场发射阴极尖的气体吸附会影响功函数,并引起发射电流波动。提高电子枪室的真空度,10的负8Pa,可以降低气体的吸附速率,但无法避免,对发射尖端进行瞬间加热到2000℃以上(flash),将会有效的脱气。当真空度为10的负7Pa条件下,针尖因为离子轰击很快损坏。8-12小时必需进行Flash脱气恢复,然后需要等待30分钟,发射束流才会相对稳定。
而热场发射电子枪阴极发射温度一般在1500℃以上,气体分子不会吸附在阴极尖端,所以不需要Flash.
1.sem扫描电镜的原理是依据电子和物质的相互作用,扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描,激发出各种物理信息。
2.通过对这些信息的接收、放大和显示成像,获得测试试样表面形貌的观察。
3.sem是一种电子显微镜,中文名为扫描电子显微镜,通过用聚焦电子束扫描样品的表面而产生样品表面的图像。
4.它由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统和电源系统组成,应用于生物、医学、材料和化学等领域。
5.扫描电镜(SEM)是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。
6.扫描电镜的优点是,有较高的放大倍数,20-20万倍之间连续可调。
7.有很大的景深,视野大,成像富有立体感,可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构。
8.试样制备简单。
9.目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置,这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析,因此它是当今十分有用的科学研究仪器。
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