能谱在TEM和SEM中的空间分辨率是否一样

SEM，全称为扫描电子显微镜，又称扫描电镜，英文名Scanning Electronic Microscopy. TEM，全称为透射电子显微镜，又称透射电镜，英文名Transmission Electron Microscope.

区别：

SEM的样品中被激发出来的二次电子和背散射电子被收集而成像. TEM可以表征样品的质厚衬度，也可以表征样品的内部晶格结构。TEM的分辨率比SEM要高一些。

SEM样品要求不算严苛，而TEM样品观察的部分必须减薄到100nm厚度以下，一般做成直径3mm的片，然后去做离子减薄，或双喷（或者有厚度为20~40μm或者更少的薄区要求）。

TEM可以标定晶格常数，从而确定物相结构；SEM主要可以标定某一处的元素含量，但无法准确测定结构。

解释：

abbr. 扫描式电子显微镜（scanning electron microscope）；标准电子组件（Standard Electronic Modules）

n. (Sem)（泰、柬）森（人名）；(Sem)（西、挪）塞姆（人名）

读法：

英 [,es i: 'em]

用法：

SEM-EDS 能谱 能谱分析 扫描电镜

SEM-EDX 分析 能谱分析 能谱仪 谱分析

TSINGHUA SEM 理学院 清华经管学院 清华大学经济管理学院

近义词：

microscope

读法：

英 [ˈmaɪkrəskəʊp]  美 [ˈmaɪkrəskoʊp]

解释：

n. 显微镜

用法：

Scanning electron microscope 扫描电子显微镜 扫描电镜 扫描式电子显微镜 电子显微镜

Digital Microscope 数码显微镜 该相机还支持数码显微 数字显微镜 显微数码

petrographic microscope 岩相显微镜 岩相显微镱  [光] 岩石显微镜

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