怎么用SEM看薄膜截断面

针对怎么用SEM看薄膜截断面来回答：

献峰科技指出：在Si片上镀一层非晶碳膜（厚度为几十个nm，导电性能较差），用金刚石刀直接切割出试样，然后进行SEM观察，希望得到薄膜的厚度。

第一次去做时表面没有喷金，看到的断面效果也很差，很难清楚的看到薄膜与基体的分界面。

希 望 采 纳 不 足 可 追 问

sem观察金属熔覆电时出现了氖元素是正常的，在用 SEM观察时发现,熔覆层中出现黑白两层交替分层现象。通过成分分析表明,黑层组织是富这种双层组织形成过程与激光熔覆时熔池中液态金属的流动密切相关，文献 13指。

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