sem图怎么看垂直方向的信息?如图所示的平坦区域是在金字塔上面还是下面?按照各向异性刻蚀原理应该在上面

sem图怎么看垂直方向的信息?如图所示的平坦区域是在金字塔上面还是下面?按照各向异性刻蚀原理应该在上面,第1张

调整样品台倾斜角度!一种所谓机械对中样品台在这个调解过程中,虽然不能精确的保证样品倾斜时严格以同一个轴线来调整,但基本观察视野不会跑,不离焦!这样翻过来调过去的看,你就看清楚了!

稍微多讲点有关EM立体成像技术:

1950年代,美国科学家在实验室,第一次使用SEM弄出了立体对,那时SEM还没有商品化!在一般摄影上被称作全息照相!

现在FEI公司有这样的选购软件,可以用在SEM或TEM上。自动控制样品台按照一定角度间隔倾斜,且保证倾斜同轴,每个角度保存一幅图像,然后把N个图像合成一个立体图像,是最为精准的技术。SEM形成表面立体形貌像,TEM的立体像和CT效果相同。由于要求样品台精度极高,且运算复杂,价格贼贵!

为了简化操作,节约成本,只看个大概!最常用的立体对方法是样品角度不变,电子束以一定允许的夹角从两个方向分别扫描一张图像,一张红色伪彩,一张绿色伪彩。把两张照片叠加,形成红绿重影像!然后戴个红绿镜片眼镜,也可看到立体图像,解决你的问题!

除了立体对技术,还有就是线扫描Y增益的示波器技术!

有些扫描电镜带有示波器,扫描发生器让电子束在划定的直线上扫描,然后把信号曲线画在直线上方,因为图像信号强度是电子束与像素表面角度的函数,一般认为曲线的高低起伏代表样品的高低起伏。如果将一帧图像均做Y增益,即可用软件合成一幅立体表面形貌像。有些厂商忽悠客户说此为表面立体像,其实很不严谨,因为很多时候会有假象存在,基本上没有实用价值,很多厂商取消了这个功能!

如果没有做以上的多角度观察,那就要考验成像信号的判断。就这张图像而言,可以肯定:金字塔在基底上凸起!棱角凸起信号强度高,发亮;凹陷信号强度低,发暗!

在科幻小说《三体》里面,提到过一种便携式显微镜,就是丁仪拿着观测水滴(三体发射来的宇宙探测器)的,把显微镜由光学模式切换到电子隧道显微模式后,可以放大一千万倍。这种分辨相比球差电镜差得还很远,但为什么还会出现在科幻小说里代表人类 科技 的高水平呢?因为丁仪拿的便携式显微镜可以放在口袋里,而我们现在使用的SEM、TEM都像立式衣柜那么大!如果要实现埃级的分辨率同时又能装进口袋,人类 科技 还需要三体人一般的突破!

高分辨率意味着可以在非常细微的尺度内观察材料的表征,是研究各类材料微观结构和性能之间构效关系的非常有效的手段,因此在国内外物理学、材料学、半导体和化学等科研领域具有广泛的应用,也有显著的研究成果。

以上是我们本期关于球差电镜的知识分享,有实验需求可以随时联系我们!


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