jsm7500f扫描电镜景深怎样调节

景深这个东西在电镜参数固定的条件下也是固定值。

SEM改变景深大概通过这么几个途径

（1）增大工作距离（WD）

（2）减小束斑尺寸（Spot）

（3）增加光阑数量

（4）有效的消除象散

另外，景深也是和放大倍数有关，在小的放大倍数下，景深要大很多。

7500F是日本电子卖的比较好的冷场，冷场的束斑较热场的要小很多，因此景深应该可以保证。

冷场：做完测试关灯丝，需要做Cleaning，灯丝束流亮度较低，成像质量较好，不适合做EDS。

热场：灯丝常亮，不需要清洁维护，灯丝亮度高，成像效果较好（相同等级的热场FESEM成像效果略逊色于冷场FESEM），EDS效果远优于冷场。

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