为什么SEM(SU9000)需要flashing?是由于灯丝噪音吗,不同的机台做flashing的频率和间隔时间为什么不同?

为什么SEM(SU9000)需要flashing?是由于灯丝噪音吗,不同的机台做flashing的频率和间隔时间为什么不同?,第1张

SU9000是冷场发射电子枪,即电子枪阴极温度在300K的常温下发射电子, 冷场发射阴极尖的气体吸附会影响功函数,并引起发射电流波动。提高电子枪室的真空度,10的负8Pa,可以降低气体的吸附速率,但无法避免,对发射尖端进行瞬间加热到2000℃以上(flash),将会有效的脱气。当真空度为10的负7Pa条件下,针尖因为离子轰击很快损坏。

8-12小时必需进行Flash脱气恢复,然后需要等待30分钟,发射束流才会相对稳定。

而热场发射电子枪阴极发射温度一般在1500℃以上,气体分子不会吸附在阴极尖端,所以不需要Flash.

电流不稳定。受灯丝温度控制导致双光透镜电压不稳,而灯丝温度的高低取决于灯丝电流的大小,由此可见,管电流不稳定是因灯丝加热电流不稳所造成。双光透镜,多用于近远光共用一个光源的氙气大灯,透镜里面有一个遮光片,远近光是通过遮光片的上下移动实现的。


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