怎么统计sem膜孔不规则孔径分布

）先做一个N2吸附测试，得到吸附等温线；然后用不同的计算模型分析表面积和孔径分布；

2）比表面积可以看BET数据或langmuir数据，大部分人喜欢用BET数据；

3）孔径分布可以参考DFT、HK或BJH数据，这个由材料的孔径确定。

SEM描电镜主要应用于微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。SEM一般通过搭配能谱仪EDS使用,可利用EDS进行元素成分定性、定量分析。用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析异常污 染物的化学元素组成。

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