怎么用SEM看薄膜截断面

怎么用SEM看薄膜截断面,第1张

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献峰科技指出:在Si片上镀一层非晶碳膜(厚度为几十个nm,导电性能较差),用金刚石刀直接切割出试样,然后进行SEM观察,希望得到薄膜的厚度。

第一次去做时表面没有喷金,看到的断面效果也很差,很难清楚的看到薄膜与基体的分界面。

希 望 采 纳 不 足 可 追 问

薄膜样品做XRD、SEM和AFM测试没有固定的先后顺序。在这三个测试中原子显微镜更具有优势。想了解更详细的信息,推荐咨询Park原子力显微镜。Park原子力显微镜的Park NX-Hivac。在高真空条件下执行扫描扩散电阻显微镜测量可减少所需的针尖-样本相互作用力,从而大幅度降低对样本和针尖的损伤。如此可延长各针尖的使用寿命,使扫描更加低成本和便捷,并通过提高空间分辨率和信噪比得到更为精确的结果。因此,利用NX-Hivac进行的高真空扫描扩散电阻显微术测量可谓是故障分析工程师增加其吞吐量、减少成本和提高准确性的明智选择。

XRD、 SEM、AFD三者的区别:

1、 XRD(X-ray diffraction)是用来获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构。

2、 SEM(扫描电子显微镜)是一种微观性貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。

3、 AFM (原子力显微镜)是一种表面观测仪器,与扫描隧道显微镜相比,能观测非导电样品。

XRD通常薄膜厚度不够的话,需要剥离研磨制成粉末样品。SEM和AFM根据样品的特性选择一个测试就可以。测试时通常是选择同批次,同条件的几个样品分别去测形貌和组分。按照预约测试时间来安排测试顺序。

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想准确测定厚度还是很麻烦的,关键就在于制样,关于镀层或者薄膜厚度的测定有相关标准的,标准名称我不太记得了,改天给你发过来也行(如果需要),大概意思是说在要测的镀层外面再镀一层镍,然后把材料固化在树脂中,再做截面,或者抛光,然后再测定,关键是不要破坏镀层.关于SiO2不导电的问题,喷金或者喷碳就可以解决.


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