SEM扫描电镜图怎么看，图上各参数都代表什么意思

1、放大率：

与普通光学显微镜不同，在SEM中，是通过控制扫描区域的大小来控制放大率的。如果需要更高的放大率，只需要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到。

所以，SEM中，透镜与放大率无关。

2、场深：

在SEM中，位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象。这一小层的厚度称为场深，通常为几纳米厚，所以，SEM可以用于纳米级样品的三维成像。

3、作用体积：

电子束不仅仅与样品表层原子发生作用，它实际上与一定厚度范围内的样品原子发生作用，所以存在一个作用“体积”。

4、工作距离：

工作距离指从物镜到样品最高点的垂直距离。

如果增加工作距离，可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深。如果减少工作距离，则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。通常使用的工作距离在5毫米到10毫米之间。

5、成象：

次级电子和背散射电子可以用于成象，但后者不如前者，所以通常使用次级电子。

6、表面分析：

欧革电子、特征X射线、背散射电子的产生过程均与样品原子性质有关，所以可以用于成分分析。但由于电子束只能穿透样品表面很浅的一层（参见作用体积），所以只能用于表面分析。

表面分析以特征X射线分析最常用，所用到的探测器有两种：能谱分析仪与波谱分析仪。前者速度快但精度不高，后者非常精确，可以检测到“痕迹元素”的存在但耗时太长。

观察方法：

如果图像是规则的（具螺旋对称的活体高分子物质或结晶），则将电镜像放在光衍射计上可容易地观察图像的平行周期性。

尤其用光过滤法，即只留衍射像上有周期性的衍射斑，将其他部分遮蔽使重新衍射，则会得到背景干扰少的鲜明图像。

扩展资料：

SEM扫描电镜图的分析方法：

从干扰严重的电镜照片中找出真实图像的方法。在电镜照片中，有时因为背景干扰严重，只用肉眼观察不能判断出目的物的图像。

图像与其衍射像之间存在着数学的傅立叶变换关系，所以将电镜像用光度计扫描，使各点的浓淡数值化，将之进行傅立叶变换，便可求出衍射像〔衍射斑的强度（振幅的2乘）和其相位〕。

将其相位与从电子衍射或X射线衍射强度所得的振幅组合起来进行傅立叶变换，则会得到更鲜明的图像。此法对属于活体膜之一的紫膜等一些由二维结晶所成的材料特别适用。

扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察。

参考资料：百度百科-扫描电子显微镜

图2扫描电镜照片阀座磨损表面引擎＃ 6175后一四七四小时测试。 The arrows and labels indicate the locations of EDX analysis.箭头和标签说明的位置， X射线能谱分析。

The same adhesion phenomenon occurs on the valve seat surfaces.同样的粘附现象，对阀座表面。 Figure 4 shows SEM micrographs of the worn exhaust valve seat surface of engine #6175 after 1474 hours of testing.图4显示形貌磨损排气阀座表面引擎＃ 6175后一四七四小时测试。 The valve material is Stellite 6 faced 23-8N (solution treated and aged).阀门材料Stellite 6面临23 - 8N （固溶处理和年龄） 。 The arrows in Figure 4b indicate the locations of EDX analysis.箭头图4B条显示的位置， X射线能谱分析。 Note the pits and deposits on the worn seat surface.请注意坑和存款的座位表面的磨损。 Figures 5a shows the EDX spectrum of spot A on Figure 4b showing adhered insert material.图5a显示能谱谱识别图4B条显示坚持插入材料。 Note molybdenum and manganese in the spectrum.注意：钼和锰的频谱。 Figure 5b shows the EDX spectrum of spot B in Figure 4b showing both adhered insert material and oil deposits.图5B条显示能谱谱现货B的图4B条既坚持插入材料和石油矿藏。 Note molybdenum., phosphorous, chlorine, calcium, and zinc in the spectrum.注意：钼。 ，磷，氯，钙，锌的频谱。 Other valves from different engines labeled as "adhesion" in Table 2 share this typical adhesive phenomenon.其他阀门从不同的引擎标示为“粘连”的表2分享这一典型胶粘剂现象。

The adhesive wear mode appears to predominate at valve seat interfaces with high asperity contact stresses or high combustion pressure.在粘着磨损为主模式似乎在阀座接口微凸体接触应力高或高燃烧压力。 The surface roughness can contribute to adhesion significantly.表面粗糙度可有助于粘附显着。 Valves faced with Stellite alloy show less adhesive wear than unfaced valves, Table 2.阀门面临Stellite合金显示较少粘着磨损比unfaced阀，表2 。 The presence of high melting point phases, such as carbide or ceramic compounds in the contacting materials is believed to help prevent microwelding or adhesion related wear.在场的高熔点阶段，如硬质合金或陶瓷化合物在接触材料被认为有助于防止microwelding或粘附相关磨损。

Shear strain, also known as radial flow, is defined as the first derivative of the displacement, ie, .剪应变，也称为径向流，被界定为一阶导数的位移，即。 Figure 6 [8].图6 [ 8 ] 。 Shear strain controlled wear can characterized as a surface plastic deformation process.剪应变控制的磨损可以定性为表面塑性变形过程。 The wear is the result of the shear strain on the seat surface exceeding the plasticity limit of the material.磨损是由于剪应变的座椅表面超过限额的塑性材料。 The material is then detached or delaminated from the seating surface as wear particles.材料是那么超脱或脱层从座椅表面磨损颗粒。 The typical appearance of shear strain controlled wear are ridges and/or radial flow of material on valve seats and inserts.典型的外观剪应变磨损是脊控制和/或径向流动的材料阀座和刀片。 Shear strain controlled wear sometimes is associated with adhesion.剪应变控制磨损有时与粘连。

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