FESEM (field emission scanning electron microscopy)场发射扫描电子显微镜
SEM (scanning electron microscopy) 扫描电子显微镜
下面是专业方面的差别,找来的,自己不懂:
FESEM就是用场发射枪的SEM,SEM则是统称。场发射枪比LaB6(CeB6)的电子束亮度强100倍,比钨灯丝高10000倍,是一个高性能的电子光源。由于它采用的技术能使电子束的束斑很细(最细甚至在0.5 nm以下),所以能有很高的分辨率(目前最高0.4 nm)。
喷金和喷碳是为了增加样品表面的导电性,但FESEM的样品最好不要喷金,甚至最好不要喷碳,为的是能看到最接近原始形貌的图片。由于有高亮度的特点,对于不导电的样品可以把电压降低,或者使用电子束减速模式等新技术,同样能得到质量很高的照片。
冷场:做完测试关灯丝,需要做Cleaning,灯丝束流亮度较低,成像质量较好,不适合做EDS。热场:灯丝常亮,不需要清洁维护,灯丝亮度高,成像效果较好(相同等级的热场FESEM成像效果略逊色于冷场FESEM),EDS效果远优于冷场。
原子力AFM分辨率很高,通常看物质表面形貌,纵向达到10nm级是无压力的。透射TEM一般标尺可以到20nm,不过具体看材料能做到多少,如果是高分辨HRTEM,那是用来看晶格的,标尺甚至可以达到2nm。扫描SEM的话至少可以到微米级,场发射扫描电镜FESEM就更高了,材料导电性好一般可以到100nm的标尺还很清晰。。反正一般放大到8W-10W倍,标尺就是100nm了,你可以换算一下。。欢迎分享,转载请注明来源:夏雨云
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