SEM 可以测成分吗

这个是可以测成分的，牛津仪器纳米分析部推出了可以在SEM里测量薄膜成分和厚度软件系统ThinFilmID。 ThinFilmID是利用EDS测量薄膜结构的成分和厚度。 这项技术是唯一基于SEM和EDS薄膜分析系统。

mplus适用性应该更强一些，可以做的模型种类更多。

另外，lisrel要求数据连续正态分布；mplus可以指定非连续数据。

mplus需要编程，lisrel可以画图。但是仅程序而言，mplus的程序比lisrel的程序读起来更容易理解。

两个都是收费的软件。

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