如何解决SEM图像的漂移问题

我自己碰到的图像漂移有：

1。样品固定不牢固，或者样品太。因此样品大小要合适，并用导电胶固定牢固。

2。刚放入样品，开始观察时图像漂移较大，可等半小时左右在开始，图像漂移消除或减弱。

3。样品导电性差，荷电现象导致图像漂移不清楚，可降低电压或者样品表面喷金（碳）处理。

4。扫描电镜对中不好导致聚焦过程中图像移动。

5。高倍观察时，环境振动也会导致图像漂移或者浮动。

聚焦时图像移动最可能的原因：1，你样品粘贴的不牢，在抽真空的情况下，样品会产生移动，这种移动在高放大倍数下回越明显。2，你样品如果是多孔材料，在抽真空下也会产生移动。3，样品不是十分干燥也会移动。

如何消除：1，从样品室取出样品，用镊子轻压样品，增加样品和导电胶的结合强度。2，长时间抽真空后在测试。

图像拉长：是因为你点击拍照的时候，样品在动，所以图像会变形。

如何消除：1，解决样品移动就可以完全解决。2，不能解决样品移动，那就拍照的时候选择快速拍照模式。

就定量来说，SEM点分析比线分析和面分析更准确，扫描的方式不同，线分析和面分析只能定性的分析观察视场的元素分布情况（线分析是沿着某个界面的元素分布起伏，而面分析是看整个视场的元素分布情况），点分析可以基本定量分析元素。

SEM/EDS是扫描电子显微镜和X-射线能量色散谱仪的简称，两者组合使用，功能非常强大，既能观察微区的形貌又能对微区进行成分分析，在各类分析工作中被广泛运用。

EDS mapping时间就长的多了，尤其是如果想得到比较确定的数据的话，一个线扫就可以耗费半个小时。EDS mapping的分辨率不仅取决于束斑尺寸，由于收集时间比较长，样品漂移的影响更大，所以比eels mapping 差不少。

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