FESEM (field emission scanning electron microscopy)场发射扫描电子显微镜
SEM (scanning electron microscopy) 扫描电子显微镜
下面是专业方面的差别,找来的,自己不懂:
FESEM就是用场发射枪的SEM,SEM则是统称。场发射枪比LaB6(CeB6)的电子束亮度强100倍,比钨灯丝高10000倍,是一个高性能的电子光源。由于它采用的技术能使电子束的束斑很细(最细甚至在0.5 nm以下),所以能有很高的分辨率(目前最高0.4 nm)。
喷金和喷碳是为了增加样品表面的导电性,但FESEM的样品最好不要喷金,甚至最好不要喷碳,为的是能看到最接近原始形貌的图片。由于有高亮度的特点,对于不导电的样品可以把电压降低,或者使用电子束减速模式等新技术,同样能得到质量很高的照片。
冷场:做完测试关灯丝,需要做Cleaning,灯丝束流亮度较低,成像质量较好,不适合做EDS。热场:灯丝常亮,不需要清洁维护,灯丝亮度高,成像效果较好(相同等级的热场FESEM成像效果略逊色于冷场FESEM),EDS效果远优于冷场。
FESEMabbr.
field emission scanning electron microscope 场致发射扫描电子显微镜field emission scanning electron microscopy 场致发射扫描电子显微分析法Forcible Entry Safeguards Effectiveness Model 强制进入保障监督效用模型
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