PDMS切图标注如何修改

ATTA的属性里面，ATTY属性用于设置baiATTA的功能。

1、管道附件Attachment有三个主要用途：

a)强制分图

b) 指明支吊架的位置和型号

c)指明管道上的一个特殊点，并且可以标注或注释

2、具体的应用是通过设置Attachment 的ATTYPE属性实现

a)设置ATTY XXXX，在ISODRAFT中将管道在该点强制分成两张图。

b) 设置ATTY CCCC，在ISODRAFT中加入注释信息，该点被标注。注释写在Stext属性中。

c)设置ATTY CCNN，在ISODRAFT中加入注释信息，该点不标注。注释写在Stext属性中。

d) Skey是FLOR或者PENI的Attachment在ISODRAFT中显示穿墙符号。

e)设置ATTY HANG或者SUPP，逻辑支吊架，型号写在Stext属性中。

f) 设置ATTY INPP (Insulation symbol ATTAs 保温防烫类型代码)

g)设置ATTY SSSS(Split ATTAs for system isometrics 系统ISO图分割)

h) 设置ATTY WELD (Weld ATTAs 焊点类型代码)

i) 设置ATTY FLOW （Flow ATTAs 管道流向标记类型代码）

更多信息参见 ISODRAFT USER GUIDE 5.2节Attachment Point Elements

PDMS（polydimethylsiloxane，聚二甲基硅氧烷）在室温下是一种无色、粘稠的液体，因此被称为硅油，是软光刻工艺中常用的聚合物。PDMS是一种廉价、安全和无毒的聚合物，具有良好的透光性和高化学惰性。它是一种具有低杨氏模量的高等级弹性体。由于PDMS既不粘附在AZ4620上，也不粘附在晶圆上，我们在实验中利用PDMS的优良特性，将平面微透镜阵列结构反转并转移到PDMS上，产生一个柔性图案。

倒模工艺开始之前，必须准备好PDMS溶液。由于PDMS在室温下不能固化，所以要添加特定的固化剂。PDMS溶液是通过将PDMS预聚物和固化剂以10:1的质量比混合制备的。在充分搅拌后，混合物中出现大量的气泡，并在真空桶中抽空（也可放置40分钟以上），直到混合气体完全被抽走。然后将先前准备好的平面微透镜阵列模板连接到离心机上，将少量的PDMS溶液慢慢倒在微透镜阵列上，让其慢慢散开并去除任何气泡，相应调整离心机的速度和时间。为了获得厚度均匀的PDMS网板（使用较厚的PDMS网板是为了防止在随后的负压过程中薄膜下垂），这里再次使用了多次旋涂的方式。在涂抹单层后，让薄膜静止约1分钟，然后进行软烘，在加热前寻找气泡，如果气泡没有完全排出，在加热过程中就会形成气泡。一旦旋涂过程完成，薄膜就在65℃的烘箱中烘烤2小时。最后去除薄膜，得到一个厚度约为450微米的柔性PDMS模板，其凹陷的微透镜阵列与微透镜阵列的形状相反

首先依次组装主体和可拆卸式盖子，然后将模具安装在防震台上。然后将柔性PDMS阴性膜连接到加工成顶盖的球状缺陷的顶部，然后放置并连接微流注射腔室。连接一个真空泵进行抽气，此时，柔性PDMS模板在负压下下沉，并与盖子紧密贴合，形成我们需要的弧度。这里的微孔阵列设计允许在PDMS网板上施加更均匀的力，使负压均匀地分布在网板上，并使薄膜拉伸的各向异性降到最低。负压稳定后，毛细管与微流控注射泵（LSP04-1A，朗格恒流泵有限公司）连接，进行粘合。通过微流控注射室的粘合孔和通气孔固定一定量的过量，以有效清除可能存在的空气和杂质。最后，整个装置被置于紫外线设备下，一旦模塑材料固化，它就被脱模，以获得弯曲的微透镜阵列。

设计中选择的成型材料是NOA81（Norland Optical Adhesive 81，Norland Products Inc.），它具有优良的光学透光性，在可见光波长中保持90%以上的透光率，并且具有高度的耐溶剂性，完全固化后硬度不脆。由于其弹性，该结构能够缓解由振动或环境温度的极端变化引起的应力，从而确保固化的复眼结构的长期性能。此外，在紫外光下的固化速度极快，最快的紫外固化在几十秒内完成，这对保护紫外光刻设备非常重要。

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