sem扫描电镜测量需要多长时间

sem扫描电镜测量需要多长时间,第1张

测量时间样品类型和测试要求而不同。

电镜测量过程包括:制样→放样→确认位置→拍照、测试等。

1、对于简单样品,可能不需要特别制样,直接取样放样(要抽真空)就可以,该过程可能需要几分钟到十几分钟;对于负责样品,可能需要断开、抛光腐蚀或者其他处理,时间就不能确定了,有的可能要半天,抽真空放样可能半个小时;

2、如果单纯拍几张照片,没有特别要求,几分钟就可以确认位置和拍完照片,如果在样品上找某些特定的特征拍照时间就可能长很多(这也与拍照人的操作熟练程度有关),如果还要测能谱或者其他的内容,时间可能会更延长。

如果楼主不能判断自己样品符合以上哪些内容,不能确认时间,可以详细说下你的样品和测试内容,才能准确知道测试时间

可能你还没有机会接触更深,也就是说还没有机会上手操作,否则一定需要培训,简单培训过后,这些都必须知道,否则连开关机都不会。

虽然不同型号标识会略有不同,但通过意思还能判断的:

Power--电镜主机的电源开关

Air-- 基本是指泄真空,往真空室放气,这样才可以打开样品仓,或者电子枪室等。

扫描电镜是高真空系统,一般是由两级或者三级真空泵串联组成,通过真空阀门和真空测量器件共同进行自动逻辑控制。

START UP -- 开始抽真空 :第一次开机,更换样品后都需要重新抽真空,现在一般都是在软件中控制。软件中本身有指示灯,过去都在主机上用LED灯显示。只要保持抽真空状态,这个等一直亮。按AIR按钮后,真空泵停止运转,这个灯会灭。

SHUT DON-- 关机,不泄漏真空,但真空泵停止运转,可以关闭总电源,保持电镜真空腔体处于真空状态。

R.P,Ratary Pump 缩写,是前级泵,叫做旋片式机械真空泵,最高这空度0.1Pa,一般需要将真空室从大气压抽到10pa 以下。一般扫描电镜抽真空时间设计在3分钟以内。

M.P ,Molecular Pump缩写,是二级泵,叫做分子泵,必须在气体的分子流下工作,启动真空度在10pa 以下。

也不知道你接触的设备是哪个年代的,当前新设备基本都不用真空表,直接是数字显示实际真空度。

总之都是一个意思,估计你的设备比较老。

真空表0-10之间,0代表大气,10代表高真空,高压电源允许打开的真空度(高压电源是有真空保护装置的,真空达不到,好的电镜都会自动锁住高压电源开关,万一真空泄露,也会自动关闭高压电源)。

刚开机的时候,是因为真空室内的腔体处于一定真空状态,不是从大气开始抽的,表指示的是初始真空度,如果打开样品室,更换样品后再重新抽真空,就是从0开始了。


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