氧化铟锡靶材有毒吗

氧化铟锡靶材有毒，因显示器行业的发展，近几十年来ITO的使用量大幅增加。职场从事相关作业人员也大量增加，在职场暴露ITO风险与健康危害逐渐引起关注。因氧化铟锡或铟暴露而造成健康危害被报导的案例包括日本10个因吸入氧化铟锡导致肺部疾病案例、美国4例及中国出现1例铟中毒案例。日本最早被报导的2个因吸入氧化铟锡导致肺部疾病（1998及2002 年）案例，皆发生在同一家金属处理工厂，此工厂生产薄膜电晶体液晶显示器（TFT-LCD）所需的氧化铟锡溅镀靶（sputtering target）。这两个案例皆因干咳、呼吸困难始就医，经系列诊断（血液、胸部CT） 发现肺部组织纤维化，这两个案例病患血中铟浓度为 290 µg/l 和 51 µg/l（男性常人平均 值为 0.1 µg/l），肺部有许多细微粒子，经扫描式电子显微镜 X-Ray 光谱分析，这些粒子为铟和锡氧化物，因此判定为吸入氧化铟锡导致间质性肺炎（interstitial pneumonia）。

0.3 5mm。氧化铟锡在透明薄膜时的厚度范围是0.3 5mm。氧化铟锡(Indium Tin Oxide, ITO)是一种氧化铟(IIIA 族,In2O3)和氧化锡(IVA 族,SnO2)的混合物,In2O3为氧化物半导体,加入SnO2作为杂质参杂。它在薄膜状时,为透明无色具导电性,

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