可以测成分的,牛津仪器纳米分析部推出了可以在SEM里测量薄膜成分和厚度软件系统ThinFilmID。 ThinFilmID是利用EDS测量薄膜结构的成分和厚度。 这项技术是唯一基于SEM和EDS薄膜分析系统。
SEM的工作原理与使用方法 :
SEM的工作原理 扫描电镜(SEM)是对样品表面形态进行测试的一种大型仪器。
当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时,电子与元素的原子核及外层电子发生单次或多次弹性与非弹性碰撞,一些电子被反射出样品表面,而其余的电子则渗入样品中,逐渐失去其动能,最后停止运动,并被样品吸收。
在此过程中有99%以上的入射电子能量转变成样品热能,而其余约1%的入射电子能量从样品中激发出各种信号。
一、含义不同
mean表示都是平均数。
SEM是standard error of mean是平均数的抽样误差,反应平均数的抽样准确性。
SD全称standard deviation标准差,又常称均方差,是离均差平方的算术平均数的平方根,用σ表示。
二、用法不同
SEM计估计值的准确性无法度量,但可以用统计方法来测量。
测试的误差来源包括系统误差和采样误差,这些误差很容易克服,采样误差是由许多无法控制的内部和外部因素引起的,这些因素都是偶然的,即使在测试中非常小心也很难消除,但可以通过增加重复次数来减少。
小样本(n≤30)取平均值±标准差,大样本(n>30)取平均值±标准差。
三、类型不同
标准差是方差的算术平方根。标准差可以反映数据集的离散程度。如果平均值相同,则标准差可能不相同。
标准误差是用样品的标准偏差除以样品容量的平方根来计算的,标准误差受样本量影响较大,样本量越大,标准误差越小,抽样误差越小,说明样本能够更好地代表种群。
测量时间因样品类型和测试要求而不同。电镜测量过程包括:制样→放样→确认位置→拍照、测试等。
1、对于简单样品,可能不需要特别制样,直接取样放样(要抽真空)就可以,该过程可能需要几分钟到十几分钟;对于负责样品,可能需要断开、抛光腐蚀或者其他处理,时间就不能确定了,有的可能要半天,抽真空放样可能半个小时;
2、如果单纯拍几张照片,没有特别要求,几分钟就可以确认位置和拍完照片,如果在样品上找某些特定的特征拍照时间就可能长很多(这也与拍照人的操作熟练程度有关),如果还要测能谱或者其他的内容,时间可能会更延长。
如果楼主不能判断自己样品符合以上哪些内容,不能确认时间,可以详细说下你的样品和测试内容,才能准确知道测试时间
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