请问各位专家碳含量用EDX还是XPS好呢？

EDS虽是体含量，但主要是定性测量，定量很麻烦，要标定的，一般人家不给做；XPS一般是表层1~3nm处的含量，但是定量准确，精确度在95%以上。你要发高水平的SCI，建议用XPS；一般的文章用EDX就行了

二次电子扫描象的分辨本领最高，约等于入射电子束直径，一般为6-10nm深，主要用于测试表面形貌；背散射电子为50-200 nm深，可以测表面形貌，也可以得到表面成分衬度；吸收电子和X射线为100-1000nm深，这些信号主要用来得到表面元素。 查看原帖>>

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