SEM制样时样品为什么要干燥

1、高真空环境是分子流，湿的样品不断释放水蒸气，使高真空情况下，真空度很难上升，往往达不到比较优越的条件。

2、水蒸气和2000多度高温的钨丝反应，会加速电子枪灯丝挥发，极大降低灯丝寿命。

3、对电子束的散射，会造成信号损失

4、污染样品

扩散泵温度过低。

开机时，初级泵（油泵）抽到一定真空度后扩散泵启动。这时候电热丝会加热扩散泵底部使泵油沸腾。一般这个过程很短，即使提示“温度过低，稍等一会儿”，也就稍等一会儿吧。

如果等很久，扩散泵都不工作，可以看看泵底部是不是热了（注意：高温，不要用手摸）。

如果不热，可能是电热部分损坏了；

如果是高温的，可能是测温元件坏了，或者软件有问题。

扩散泵一般在镜筒正下方，气浮平台里面。

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