能谱在TEM和SEM中的空间分辨率是否一样

SEM，全称为扫描电子显微镜，又称扫描电镜，英文名Scanning Electronic Microscopy. TEM，全称为透射电子显微镜，又称透射电镜，英文名Transmission Electron Microscope.

区别：

SEM的样品中被激发出来的二次电子和背散射电子被收集而成像. TEM可以表征样品的质厚衬度，也可以表征样品的内部晶格结构。TEM的分辨率比SEM要高一些。

SEM样品要求不算严苛，而TEM样品观察的部分必须减薄到100nm厚度以下，一般做成直径3mm的片，然后去做离子减薄，或双喷（或者有厚度为20~40μm或者更少的薄区要求）。

TEM可以标定晶格常数，从而确定物相结构；SEM主要可以标定某一处的元素含量，但无法准确测定结构。

标准误差的平均值（SEM)，用于衡量样本平均值与真实总体平均值离散程度。SEM用以下等式计算：SEM=SD/N.

当样本足够大时，SEM很小。就SEM自身来说，难以理解。比较容易理解的是由SEM计算得出的95％的置信区间。

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