FIB和SEM的优劣分析 从成像原理,成像效果,成本,通用性等多方面解答一下.

FIB和SEM的优劣分析 从成像原理,成像效果,成本,通用性等多方面解答一下.,第1张

FIB带有SEM功能;FIB另外的功能就是微加工.

SEM是电子束成像原理.

FIB中带有电子束成像,也可以离子束成像(一般不用,对样品表面形貌损伤太大).

如果您只观察形貌的话,用SEM即可,FIB的电子束成像方面和SEM都一模一样.

fib带有sem功能;fib另外的功能就是微加工。

sem是电子束成像原理。

fib中带有电子束成像,也可以离子束成像(一般不用,对样品表面形貌损伤太大)。

如果您只观察形貌的话,用sem即可,fib的电子束成像方面和sem都一模一样。

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