请问各位专家碳含量用EDX还是XPS好呢？

EDS虽是体含量，但主要是定性测量，定量很麻烦，要标定的，一般人家不给做；XPS一般是表层1~3nm处的含量，但是定量准确，精确度在95%以上。你要发高水平的SCI，建议用XPS；一般的文章用EDX就行了

二次电子扫描象的分辨本领最高，约等于入射电子束直径，一般为6-10nm深，主要用于测试表面形貌；背散射电子为50-200 nm深，可以测表面形貌，也可以得到表面成分衬度；吸收电子和X射线为100-1000nm深，这些信号主要用来得到表面元素。 查看原帖>>

EDS是能谱分析，EDX是荧光分析，EDXRF是能量色散型荧光X射线，目前有害物质分析仪和一些镀层厚度分析仪利用此原理。

EDS，（ 电子差速锁）英文全称为ElectronicDifferentialSystem， 它是ABS的一种扩展功能，用于鉴别汽车的轮子是不是失去着地摩擦力，从而对汽车的打滑车轮进行控制。另有an HP company 是全球信息服务业领导者之一，以协助全球客户提高企业的运营绩效。另有EDS (能谱，Energy Dispersive Spectrometer)，EDS电气设计软件包。

EDX:Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy能量色散X射线光谱仪，也可简写为EDS

EDX是借助于分析试样发出的元素特征X射线波长和强度实现的， 根据波长测定试样所含的元素，根据强度测定元素的相对含量。

常用的EDX探测器是硅渗锂探测器。当特征X射线光子进入硅渗锂探测器后便将硅原子电离，产生若干电子-空穴对，其数量与光子的能量成正比。利用偏压收集这些电子空穴对，经过一系列转换器以后变成电压脉冲供给多脉冲高度分析器，并计数能谱中每个能带的脉冲数。

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