请教不导电样品的SEM观察

请教不导电样品的SEM观察,第1张

嘿嘿 这位同学应该刚刚接触到这个sem吧!简单的说吧——由于sem的成像原理是通过detecter获得二次电子和背散射电子的信号,而若样品不导电怎或造成样品表面多余电子或游离粒子的累积不能及时导走,一定程度后就反复出现充电放电现象(charging)。

可以,做SEM时,电子射入材料时是散射开的,纵向截面类似于一个葫芦形,所以它探测到的反射能谱不是最表面的材料,如果你入射能量大,甚至可以深入材料几个微米的深度。所以SEM能谱分析得出的不是最表面那几层原子,还要更深一些,是一个葫芦状微观三维区域的原子能谱。

镀金膜导电可以让表面形貌的图像更清晰,但是仪器会自动将能谱里的金峰标出,不会影响其他元素的判断。

文献里看不到金峰,可能是由于作者只取了对自己有用的那一段能谱进行说明,而没有打出全部能谱

关键是聚焦,高倍聚焦,低倍成像。再就是调节对比度亮度得到一幅清晰的图像。 如果比较了解电镜的话,还要调节像散,对中等等之类的。

SEM想清楚这个要自己多试条件,不同的电压、扫描速度、工作距离都是会影响图片清晰度的,当然条件确认的情况下,就是要看你的技术咯,电子束对中,像散调节,wobble,最后就是focus清晰啦。

制样,成功制备出所要观察的位置,样品如果不导电,可能需要镀金境电,环镜处在无振动干扰和无磁场干扰的环境下,设备,电镜电子枪仍在合理的使用时间内,拍摄,找到拍摄位置,选择合适距离,选择合适探头,对中,调像散,聚焦,反复操作至最清晰。

扫描电镜作为一种基础显微成像工具,因具有超高的放大能力,从而被高校、科研院所、材料研发和质量分析部门广泛用于。


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