电子枪
发出
电子束
打到样品表面,激发出
二次电子
、
背散射电子
、X-ray等特征信号,经收集转化为数字信号,得到相应的形貌或成分信息。
测试注意事项:
1、新人找别人帮忙测试时,
明确自己的测试内容,如何样品前处理,测试时间,然后跟测试相关人员联系确定能否满足你的测试需求
2、新人自己操作测试时,
明确自己的测试内容,如何样品前处理,测试时间,
测试时注意样品干燥洁净,操作时样品和样品台避免撞到探头
可以有3个方法:1,制样的时候将样品倾斜放置。
2,用倾斜样品台制样,有些SEM样品台配有30,45,60度倾斜的样品台。
3,高级的SEM,可以讲探头本身倾斜,从而获得大角度的SEM图
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