SEM扫描电镜图怎么看，图上各参数都代表什么意思

1、放大率：

与普通光学显微镜不同，在SEM中，是通过控制扫描区域的大小来控制放大率的。如果需要更高的放大率，只需要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到。

所以，SEM中，透镜与放大率无关。

2、场深：

在SEM中，位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象。这一小层的厚度称为场深，通常为几纳米厚，所以，SEM可以用于纳米级样品的三维成像。

3、作用体积：

电子束不仅仅与样品表层原子发生作用，它实际上与一定厚度范围内的样品原子发生作用，所以存在一个作用“体积”。

4、工作距离：

工作距离指从物镜到样品最高点的垂直距离。

如果增加工作距离，可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深。如果减少工作距离，则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。通常使用的工作距离在5毫米到10毫米之间。

5、成象：

次级电子和背散射电子可以用于成象，但后者不如前者，所以通常使用次级电子。

6、表面分析：

欧革电子、特征X射线、背散射电子的产生过程均与样品原子性质有关，所以可以用于成分分析。但由于电子束只能穿透样品表面很浅的一层（参见作用体积），所以只能用于表面分析。

表面分析以特征X射线分析最常用，所用到的探测器有两种：能谱分析仪与波谱分析仪。前者速度快但精度不高，后者非常精确，可以检测到“痕迹元素”的存在但耗时太长。

观察方法：

如果图像是规则的（具螺旋对称的活体高分子物质或结晶），则将电镜像放在光衍射计上可容易地观察图像的平行周期性。

尤其用光过滤法，即只留衍射像上有周期性的衍射斑，将其他部分遮蔽使重新衍射，则会得到背景干扰少的鲜明图像。

扩展资料：

SEM扫描电镜图的分析方法：

从干扰严重的电镜照片中找出真实图像的方法。在电镜照片中，有时因为背景干扰严重，只用肉眼观察不能判断出目的物的图像。

图像与其衍射像之间存在着数学的傅立叶变换关系，所以将电镜像用光度计扫描，使各点的浓淡数值化，将之进行傅立叶变换，便可求出衍射像〔衍射斑的强度（振幅的2乘）和其相位〕。

将其相位与从电子衍射或X射线衍射强度所得的振幅组合起来进行傅立叶变换，则会得到更鲜明的图像。此法对属于活体膜之一的紫膜等一些由二维结晶所成的材料特别适用。

扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察。

参考资料：百度百科-扫描电子显微镜

二次电子扫描象的分辨本领最高，约等于入射电子束直径，一般为6-10nm深，主要用于测试表面形貌；背散射电子为50-200 nm深，可以测表面形貌，也可以得到表面成分衬度；吸收电子和X射线为100-1000nm深，这些信号主要用来得到表面元素。 查看原帖>>

他 SEM 图像 (图 6 a 和 b) 揭露那当做-综合 MCS 粉有像虫一样的形态学 (直径:200-700个 nm) 与平滑的表面, 和那

MCS 的形态学是改变很大在锻烧之后在 800℃. 与图 6 b 相较, 图 6 c 表示那表面 MCS 的形态学是改变在状态之后

变形。 那表面那烧成石灰 MCS 是不光滑, 和毛孔,尺寸的大约 20-100个 nm, 是形成。 这一种现象可能是根据 mesopores 的崩溃解释和集合毛孔墙壁。此外, 表示的图 6 d 那表面像虫一样 mesoporous 的形态学粉改变和崭新形成一-CaSiO3 是显然的在那之上表面粒子同样地比较与那当做-综合 MCS。显示的所有这些结果那 mesoporous 结构不只有重要地受到影响的那一-CaSiO3 形成温度但是也那状态变形 CaSiO3 的行为. 对于秩序井然的无定形的 mesoporous 钙矽酸盐, 那一-CaSiO3 形成温度是 325℃比常态低一-CaSiO3 形成温度, 和这直接地是关于无定形 CaSiO3 的变形的第一项报告到一-没有 b 的形成的 CaSiO3-CaSiO3. 第一, 这不正常的状态变形可能是适当的到那高度特性表面区域。 反应距离是缩短了对效果的二重唱表面, 哪一个减少使活动能源和允许反应发生在低的温度。 一些研究员有示范那结构和财产奈米尺寸材料能相当不同于那些大多数

由于表面的效果的材料。 当做那刻度材料转为奈米范围, 趋向表面减少他们的表面能源可能驾驶结构的变化超过那表面层进入那之内大多数 [33]. 一些研究观察 Au ， Ag 和其他的金属可以形式一亲戚关闭-包装格子当那大小材料粒子是在下面一紧要关头的大小, 哪一个造成最低的在表面能源 [34-36]. 虽然两者的 b-CaSiO3 和一-CaSiO3 是三斜晶系的, 结构一-CaSiO3 是假的-六角形的。 在假-六角形的结构, 三个矽-氧的四面体形式一戒指, 哪一个是 a C-集中格子。 矽-氧的四面体在一-CaSiO3 包装更多小型房车超过在 b 的-CaSiO3. 因为那大的格子紧张 mesoporous CaSiO3, 那表面 MCS 可能有高张应力, 可以引诱原子到形式密集的假-六角形的结构在再定位期间, 最后减少那表面能源。 第二, 这不正常的状态变形可能是适当的到那减少了材料尺寸。早先的研究已经显示, 因为那效果尺寸, 那介稳状态 (通常高温度状态) 可能是形成没有高压的和高温度当粒子大小是在奈米尺寸 [

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