测sem时的硅片的作用

检查硅片表面残留的涂层或均匀薄膜。扫描电镜SEM是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。测sem时的硅片的作用检查硅片表面残留的涂层或均匀薄膜，硅片是生产集成电路、分立器件、传感器等半导体产品的关键材料，是半导体产业链基础性的一环。

应该是自然干燥或者在烘箱中干燥，不能再用水淋洗，用氮气吹可能会把样品吹落。

Si线可能有导电性，但也需要用导电胶带固定。用帖有双面导电胶带的样品杯按压一下硅片，把样品转移到样品杯上。

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