表面成分太少，SEM的EDS测不出来，那还能用什么设备能测呢？

�挥幸话俚陌伞�pwang526(站内联系TA)用ICP看看，XPS也精度不够的雏烹(站内联系TA)ICP 貌似 也很贵 :rol:dafeng001(站内联系TA)看lz是测什么元素啦，对于轻元素EDS测得也不准啦，如果有时有新的物相就做XRD，如果可以挂下来 做个红外， 当然 这样看你要测的是什么元素 化学分析的方法也是可以的 总之 lz给的信息太少了songjinlong(站内联系TA)表面氟化处理了 想要测O C F Sisongjinlong(站内联系TA)Originally posted by dafeng001 at 2011-03-04 15:42:14:

我想O F Si的含量是微量的吧 我现在想用电子探针测 您看 能行吗 电子探针和EDS差不太多 都是半定量的 实在需要这个数据 还是做个元素分析吧xiaxue_326(站内联系TA)用FTIR，红外测试试试吧，也是表征成分的。

B打不出来原因有以下几点：

1、能谱峰显示的一般是质量百分比，B的原子序数很靠前，与其他相同数量的元素相比，B的峰会小很多，能谱理论检测限在0.1%wt，因此可能识别不到；

2、能谱检测结果经常会有C峰出现，C峰和B峰很接近，可能把B峰掩盖；

3、因此，B是否含有需要手动加入进行确认，这个需要慢慢摸索经验。

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