怎么统计sem膜孔不规则孔径分布

怎么统计sem膜孔不规则孔径分布,第1张

)先做一个N2吸附测试,得到吸附等温线;然后用不同的计算模型分析表面积和孔径分布;

2)比表面积可以看BET数据或langmuir数据,大部分人喜欢用BET数据;

3)孔径分布可以参考DFT、HK或BJH数据,这个由材料的孔径确定。

````

应该是景深吧``

焦深计算公式

L= ±[(r/M)-d]/2α 其中:

L: 焦深

r: 显像管最小分辨距离

M:放大倍数

d:入射电子束直径

2α:物镜孔径角。

从上面的式子可以看出影响焦深的因素,其中隐含了工作距离w。物镜孔径角与工作距离和入射电子束直径有关。由于r(显像管的分辨率)和2α都是未知数,实际上不能计算。焦深也只是个人的视觉感受,还是直观的测量一下为好。

又查了资料``显像管最小分辨距离为0.22mm-0.3mm, 孔径角的典型数值为10-2—10-3rad.利用公式L= ±[(r/M)-d]/2α可以计算出在有效放大倍率下的焦深数据。设d=3纳米,孔径角2α=10-2 rad,r=0.3mm。计算焦深如下:

1000倍下为59.4微米。5000倍下为11.4微米。10000倍下为5.4微米。超过100000倍已经超过了有效放大倍率。不能计算。


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