SEM是电子束成像原理.
FIB中带有电子束成像,也可以离子束成像(一般不用,对样品表面形貌损伤太大).
如果您只观察形貌的话,用SEM即可,FIB的电子束成像方面和SEM都一模一样.
注: 并非用Ga+才叫FIB(In, Au.AsPd2),只是大多数商用FIB都是用Ga,因为-?(整理好在写).Focused(聚焦): 将离子束聚焦Ion(离子): Ga --- Ga+Beam(束):很多离子往同一路径(方向)移动________________________________________聚焦太阳光(光束)。欢迎分享,转载请注明来源:夏雨云
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