怎么用SEM看薄膜截断面

针对怎么用SEM看薄膜截断面来回答：

献峰科技指出：在Si片上镀一层非晶碳膜（厚度为几十个nm，导电性能较差），用金刚石刀直接切割出试样，然后进行SEM观察，希望得到薄膜的厚度。

第一次去做时表面没有喷金，看到的断面效果也很差，很难清楚的看到薄膜与基体的分界面。

希 望 采 纳 不 足 可 追 问

不同很正常，因为可能你的样品不是均一的，导致差异。这个SEM测试的是particle不是grain size！谢乐公式可以用，因为不超过几百纳米。你不懂得太多，建议上小木虫多多充电！

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