怎么统计sem膜孔不规则孔径分布

怎么统计sem膜孔不规则孔径分布,第1张

)先做一个N2吸附测试,得到吸附等温线;然后用不同的计算模型分析表面积孔径分布;

2)比表面积可以看BET数据或langmuir数据,大部分人喜欢用BET数据;

3)孔径分布可以参考DFT、HK或BJH数据,这个由材料的孔径确定。

常规测量方法:准备相应内孔的内径千分尺,量出大小孔内孔的孔径,然后用游标卡心测出两孔边最近边的距离,再减去相应孔的半径尺寸就是孔的中心距了,这种方法孔测量精度可达0.01毫米,但中心距精度不高,达0.02毫米且对检验人员的技能要求较高。


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