扫描电镜SEM是指什么?

扫描电子显微镜(SEM) 是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品, 通过光束与物质间的相互作用, 来激发各种物理信息, 对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。扫描电子显微镜在岩土、石墨、陶瓷及纳米材料等的研究上有广泛应用。

SEM描电镜主要应用于微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。SEM一般通过搭配能谱仪EDS使用,可利用EDS进行元素成分定性、定量分析。用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析异常污 染物的化学元素组成。

能。

SEM扫描电镜测试对样品的要求并不高，粉末、液体、固体、薄膜、块体均可测试，块体样品要求长宽小于1cm，厚度小于1cm左右。所以样品少一些没关系。

扫描电镜（SEM）是1965年发明的较现代的细胞生物学研究工具，它具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点。是一种用途广泛的科学仪器，它可以根据用户的需求提供样品不同类型的信息。

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