sem的eds和mapping什么区别

sem的eds和mapping什么区别,第1张

就定量来说,SEM点分析比线分析和面分析更准确,扫描的方式不同,线分析和面分析只能定性的分析观察视场的元素分布情况(线分析是沿着某个界面的元素分布起伏,而面分析是看整个视场的元素分布情况),点分析可以基本定量分析元素。

SEM/EDS是扫描电子显微镜和X-射线能量色散谱仪的简称,两者组合使用,功能非常强大,既能观察微区的形貌又能对微区进行成分分析,在各类分析工作中被广泛运用。

EDS mapping时间就长的多了,尤其是如果想得到比较确定的数据的话,一个线扫就可以耗费半个小时。EDS mapping的分辨率不仅取决于束斑尺寸,由于收集时间比较长,样品漂移的影响更大,所以比eels mapping 差不少。

SEM TEM 都是主要用来分析形貌。他两相比较TEM的分辨率要高于SEM。TEM给出的是一个平面图,可以告诉你样品的形貌特这,尤其是孔材料用TEM分析最好。SEM是分析表面形貌结构的,给出的是立体图,对观察棒状,球状,等等材料材料有很好的视觉效果。EDS是分析成分的,一般是配套于TEM仪器上。它分析的是样品表面面某个小的部分的元素组成,不能代表样品整体组成。


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