做SEM形貌观察发现所测C含量和所给的成分不一样。这个应该如何解释？

这里面有几个问题：1、钢的整体的碳成分是多少并不表示任何一点的碳成分均是这个数字，钢里有贫碳相如铁素体，也有富碳相如渗碳体，打在不同的部位得数也不一样；2、碳是轻元素，成分测量的误差本来就较大；3、eds本身的精度不高，只做定性分析之用，不做定量之用。

扫描电镜能谱分析通过激发原子发射特征X射线来确定成份，只能测试材料表面，根据电压不同测试的厚度不同，且轻元素是测试不了的，不记得是Be还是B之前的元素了，反之从C开始都能测试到，准确性很差。

这个是可以测成分的，牛津仪器纳米分析部推出了可以在SEM里测量薄膜成分和厚度软件系统ThinFilmID。 ThinFilmID是利用EDS测量薄膜结构的成分和厚度。 这项技术是唯一基于SEM和EDS薄膜分析系统。

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