求助:冷场扫描电镜和热场扫描电镜的区别

求助:冷场扫描电镜和热场扫描电镜的区别,第1张

冷场:做完测试关灯丝,需要做Cleaning,灯丝束流亮度较低,成像质量较好,不适合做EDS。

热场:灯丝常亮,不需要清洁维护,灯丝亮度高,成像效果较好(相同等级的热场FESEM成像效果略逊色于冷场FESEM),EDS效果远优于冷场。


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