扫描电子显微镜的原理结构

扫描电子显微镜具有由三极电子枪发出的电子束经栅极静电聚焦后成为直径为50mm的电光源。在2-30KV的加速电压下，经过2-3个电磁透镜所组成的电子光学系统，电子束会聚成孔径角较小，束斑为5-10m m的电子束，并在试样表面聚焦。 末级透镜上边装有扫描线圈，在它的作用下，电子束在试样表面扫描。高能电子束与样品物质相互作用产生二次电子，背反射电子，X射线等信号。这些信号分别被不同的接收器接收，经放大后用来调制荧光屏的亮度。由于经过扫描线圈上的电流与显象管相应偏转线圈上的电流同步，因此，试样表面任意点发射的信号与显象管荧光屏上相应的亮点一一对应。也就是说，电子束打到试样上一点时，在荧光屏上就有一亮点与之对应，其亮度与激发后的电子能量成正比。换言之，扫描电镜是采用逐点成像的图像分解法进行的。光点成像的顺序是从左上方开始到右下方，直到最後一行右下方的像元扫描完毕就算完成一帧图像。这种扫描方式叫做光栅扫描。

扫描电子显微镜由电子光学系统，信号收集及显示系统，真空系统及电源系统组成。

（以下提到扫描电子显微镜之处，均用SEM代替） 真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器。

真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨枪的SEM的真空要求，但对于装置了场致发射枪或六硼化镧枪的SEM，则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。

成像系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的密封室，用于放置样品。

之所以要用真空，主要基于以下两点原因：

电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以除了在使用SEM时需要用真空以外，平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。

为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成像的电子更多。 电子光学系统由电子枪，电磁透镜，扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束，作为产生物理信号的激发源。为了获得较高的信号强度和图像分辨率，扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。

<1>电子枪

其作用是利用阴极与阳极灯丝间的高压产生高能量的电子束。目前大多数扫描电镜采用热阴极电子枪。其优点是灯丝价格较便宜，对真空度要求不高，缺点是钨丝热电子发射效率低，发射源直径较大，即使经过二级或三级聚光镜，在样品表面上的电子束斑直径也在5-7nm，因此仪器分辨率受到限制。现在，高等级扫描电镜采用六硼化镧（LaB6）或场发射电子枪，使二次电子像的分辨率达到2nm。但这种电子枪要求很高的真空度。

<2>电磁透镜

其作用主要是把电子枪的束斑逐渐缩小，是原来直径约为50m m的束斑缩小成一个只有数nm的细小束斑。其工作原理与透射电镜中的电磁透镜相同。 扫描电镜一般有三个聚光镜，前两个透镜是强透镜，用来缩小电子束光斑尺寸。第三个聚光镜是弱透镜，具有较长的焦距，在该透镜下方放置样品可避免磁场对二次电子轨迹的干扰。

<3>扫描线圈

其作用是提供入射电子束在样品表面上以及阴极射线管内电子束在荧光屏上的同步扫描信号。改变入射电子束在样品表面扫描振幅，以获得所需放大倍率的扫描像。扫描线圈试扫描点晶的一个重要组件，它一般放在最后二透镜之间，也有的放在末级透镜的空间内。

<4>样品室

样品室中主要部件是样品台。它出能进行三维空间的移动，还能倾斜和转动，样品台移动范围一般可达40毫米，倾斜范围至少在50度左右，转动360度。 样品室中还要安置各种型号检测器。信号的收集效率和相应检测器的安放位置有很大关系。样品台还可以带有多种附件，例如样品在样品台上加热，冷却或拉伸，可进行动态观察。近年来，为适应断口实物等大零件的需要，还开发了可放置尺寸在Φ125mm以上的大样品台。 其作用是检测样品在入射电子作用下产生的物理信号，然后经视频放大作为显像系统的调制信号。不同的物理信号需要不同类型的检测系统，大致可分为三类：电子检测器，应急荧光检测器和X射线检测器。 在扫描电子显微镜中最普遍使用的是电子检测器，它由闪烁体，光导管和光电倍增器所组成。

当信号电子进入闪烁体时将引起电离；当离子与自由电子复合时产生可见光。光子沿着没有吸收的光导管传送到光电倍增器进行放大并转变成电流信号输出，电流信号经视频放大器放大后就成为调制信号。这种检测系统的特点是在很宽的信号范围内具有正比与原始信号的输出，具有很宽的频带（10Hz-1MHz）和高的增益(105-106),而且噪音很小。由于镜筒中的电子束和显像管中的电子束是同步扫描，荧光屏上的亮度是根据样品上被激发出来的信号强度来调制的，而由检测器接收的信号强度随样品表面状况不同而变化，那么由信号监测系统输出的反营养品表面状态的调制信号在图像显示和记录系统中就转换成一幅与样品表面特征一致的放大的扫描像。

NOS全称NITROUS OXIDE SYSTEM，即氮气加速系统。是由美国HOLLEY公司开发生产的产品。

在目前的世界直线加速赛(DRAG RACING)中，为了在瞬间提高大比率马力，利用的液态氮氧化物系统正是NOS。

其实，早在二次世界大战中德国空军已开始使用NOS，战争结束后才逐渐被用于直线加速赛。NOS的工作原理是把一氧化二氮(Ｎ2Ｏ)，即俗称的笑气(LAUGH GAS)高压形成液态后装入钢瓶中，然后在引擎内与空气一道充当助燃剂与燃料混合燃烧（其可放出氧气和氮气，其中氧气就是关键的助燃气体，而氮气又可协助降温），以此增加燃料燃烧的完整度，提升马力。

由于NOS提供了额外的助燃能力（氧气量大）所以安装NOS后还要对应增加燃油喷量与之配合，"要想马儿跑，就要马儿多吃草。"燃料就是引擎的草，引擎的动力也因此得到进一步的提升。NOS与涡轮增压、机械增压一样，都是为了增加引擎混合气中的氧气含量而提升燃烧效率增加马力，不同的是NOS是直接利用氧化物，而后两者则是通过外力增加空气密度来达到目的。

也许有人会问为什么不直接使用氧气而用一氧化二氮呢？那是因为用氧气难以控制引擎的稳定性（高温和爆振力），所以极少直接使用氧气。 改装店建议NOS系统每次使用时间不可超过1分钟，但其实按照系统开关要尽油门才开启来看，一般也就几秒的使用时间就可令转速超6000而令电脑自动断油。

NOS全名就叫Nitros Oxide Stsem,而NOS所用的气体就是一氧化二氮(N2O)，而N2O如何产生那么多的动力呢?氮氧化合物就是俗称的笑气(LAUGH GAS)，在Nitros Oxide Stsem的系统中N2O是因高压而形成液态被装入钢瓶内.

内燃所机做功需要燃料，增加单位时间内的燃料供给，自然就能提高车子的性能，问题在于如何在增加燃料供给的情况下同时让它充分燃烧，混合气过浓反而会降低马力。要增加燃料不难，改大喷油嘴即可，想增加引擎的氧气量就没有那么简单,TURBO和SUPERCHARGER是通过加大空气密度而增加氧气量，高转速引擎，也增加了单位时间内的进气量，在良好的匹配下，一部5000RPM的引擎提高到10000RPM时，理论上，它增加了一倍的单位时间进气量，而N2O和空气一样并不是燃料，但当温度到达华氏572度时，N2O就会分解出氧分子，而达到助燃的效果。NOS系统具有两个部份，一为燃料系统，另一为N2O供应系统，两个都通过特殊喷嘴接到排气歧管上。

NOS系统，就好象我们在FAST FURIOUS中看到的，利用一个开关启动NOS，燃料系统的汽油从电磁阀进入喷嘴，另一边N2O也从高压瓶中冲出喷嘴，两者以适当的比率混合以雾状喷入进气岐管内，在压缩爆炸行程中，N2O因高热分解出氧而使燃烧完全，加大马力。

NOS还有另一个作用就是 降低进气温度.当N2O从喷嘴喷出时，非常冷，整个喷嘴甚至会结霜，它大幅降低进气温度，使空气密度加大，增加近气量，也因进气温度之降低而减少爆震的发生，终极改装车NOS系统可以很轻易的带来额外马力,以引擎的承受力为限。

普通街车在改装NOS提高本身马力40%以上的情况下，一方面如果不进行引擎内部强化，引擎的承受力将超负荷，引擎将会受到损坏，另一方面如果调校不当造成混合气过浓，点火困难反而回适得其反。

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